MEMS气体质量流量控制器是通过调节阀门大小开度来进行控制气体流量大小的专用阀门，用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，其性能指标的好坏直接影响到气体流量控制精密度和准确度，进而影响整机分析结果的准确性和可靠性，是高校科研院所和广泛的工业过程自动化控制中不可缺少的设备。

负离子浓度的高低与人们的健康息息相关，按照世界卫生组织的规定，负氧离子浓度可作为衡量空气是否洁净的标准之一。当每立方厘米的负氧离子含量在1000-1500个时，即可被称为洁净空气。目前，中国许多湿地公园、植物园、景区等绿色生态园地都安装了负氧离子监测设备，对空气中的负氧离子浓度进行监测，以此作为空气质量是否优良的评判标准之一。

硫化氢，是一种易燃剧毒的酸性气体，低浓度时有臭鸡蛋气味，与空气混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸，对人类的身体健康和生命安全会造成巨大的威胁。