抛光液
钽酸锂/铌酸锂抛光液
(LiTa03，简称LT)晶体，是集压电、铁电、热释电、声光及电光等性能于一体的多功能晶体材料，在声表面波(SAW)器件、光通讯、激光及光电子等领域中有着广泛的应用，是制作滤波器和谐振器的关键材料。浙江新创纳开发出了钽酸锂/铌酸锂抛光液系列产品。目前广泛应用于国内各大晶体生长和加工厂家，市场占有率70%以上。
专注CMP抛光液20+年
核心磨料自研自产
(LiTa03，简称LT)晶体，是集压电、铁电、热释电、声光及电光等性能于一体的多功能晶体材料，在声表面波(SAW)器件、光通讯、激光及光电子等领域中有着广泛的应用，是制作滤波器和谐振器的关键材料。浙江新创纳开发出了钽酸锂/铌酸锂抛光液系列产品。目前广泛应用于国内各大晶体生长和加工厂家，市场占有率70%以上。
酸性钽酸锂抛光液
优点：
1、抛光速率大于15μm /h。
2、抛光表面平整光滑，无明显划伤，表面粗糙度达到0.2nm以下。
3、酸性抛光液，抛光速率较快。
应用：钽酸锂等晶圆抛光。
碱性钽酸锂抛光液
优点：
1. 抛光速率大于10μm/h 。
2. 抛光表面平整光滑，无明显划伤，表面粗糙度达到0.15nm以下。
3. 碱性抛光液，抛光后的的表面质量较好。
主要指标：LTV<0.5, TTV<3, Ra<0.3。
应用：钽酸锂等晶圆的精抛。
1、包装方式：25KG、250KG、1000KG
2、保存条件：贮存温度为5-40℃